【製品紹介】
Ⅲ．受光素子・圧力センサウエハ
フォトダイオード（アレイを含む）、フォトトランジスタ、圧力センサのチップをウエハで販売します。 圧力センサウエハの販売に関しては制約があります。
標準パターンとサイズは、用意して有ります。
圧力センサ
①ピエゾ抵抗効果を利用したセンサ。
②ＤＦエッチ加工で、厚み１０～２０μｍの加工が可能。
③ＤＦエッチ個所に、拡散抵抗を形成し、高感度なセンサ。
フォトダイオード・フォトトランジスタ
①ウエハは検査済み、ダイシング後のシート納入となります。
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